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介電常數的測量方法

更新時間:2018-02-28   點擊次數:3300次

介質在外加電場時會產生感應電荷而削弱電場,介質中的電場減小與原外加電場(真空中)的比值即為相對介電常數(relative permittivity或dielectric constant),又稱誘電率,與頻率相關。介電常數是相對介電常數與真空中介電常數乘積。如果有介電常數的材料放在電場中,電場的強度會在電介質內有可觀的下降。理想導體的相對介電常數為無窮大。

 

測量方法

相對介電常數εr可以用靜電場用如下方式測量:在兩塊板之間為真空的時候測試電容器的電容C0。然后,用同樣的電容板間距離但在板間加入電介質后測得電容Cx。然后相對介電常數可以用下式計算

εr=Cx/C0

在標準大氣壓下,不含二氧化碳的干燥空氣的相對電容率εr=1.00053.因此,用這種電構形在空氣中的電容Ca來代替C0來測量相對電容率εr時,也有足夠的準確度。(參考GB/T 1409-2006)

對于時變電磁場,物質的介電常數和頻率相關,通常稱為介電系數

應用

近十年來,半導體業界對低介電常數材料的研究日益增多,材料的種類也五花八門。然而這些低介電常數材料能夠在集成電路中應用的速度卻遠沒有人們想象的那么快。其主要低介電常數薄膜機械性質量測結果原因是許多低介電常數材料并不能滿足集成電路應用的要求




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